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          秉承“嚴謹創芯、無微不至”的宗旨,為客戶提供
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          全自動探針臺

          全自動探針臺-P8.jpg
          全自動探針臺-P12.jpg

          概述

                  自動探針臺是我司自主研發設計制造的一款設備,主要對晶圓制造中的晶圓CP測試。本設備采用針接觸式測試,可提供多個可調測試針及探針座;測試機與探針臺直接鏈接,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸,把測試機上輸出的信號精準地輸送至晶圓表面,快速高效的完成,對芯片進行各種電性及光效參數測試,自動完成篩選芯片的生產良率和效率,進而助力芯片后續的生產使用提質增效。

          特點

          1、高效、高精度測試,運行速度超200mm/s;

          2、支持單點和連續測試;

          3、測試箱與機臺直連自動控制,快速切換測試針卡;

          4、全自動控制系統,測試軟件簡潔高效。

          適用產品:

          4/6/8/12″晶圓自動檢測

          技術參數

          產品名稱

          全自動探

          產品型號

          P8/P12

          晶圓規格參數

          6 / 8 / 12英寸 .厚度300-1000?

          Die Size

          300-76000?

          設備行程

          X:0-350mm;Y:0-800mm,Z:0-70mm

          設備精度/分辨率

          X Y Z ≤2?   /   0.1?

          XYZ軸最大運行速度

          260mm/s

          Theta參數

          范圍:±5°   /   精度0.001°

          機臺尺寸

          2*1.8*1.8m(長寬高)

          機臺重量

          2600kg

           

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